風淋室、傳遞窗、潔凈棚在半導體行業(yè)無塵室的要求

風淋室、傳遞窗、潔凈棚在半導體行業(yè)無塵室的要求

在半導體行業(yè)中，無塵室是確保芯片制造過程中產品質量的關鍵環(huán)境。風淋室、傳遞窗、潔凈棚作為無塵室中的重要組成部分，其設計和配置對無塵室的潔凈度有著直接影響。以下是風淋室、傳遞窗、潔凈棚在半導體行業(yè)無塵室中的具體要求：

一、風淋室的要求

潔凈度等級：半導體無塵室對潔凈度等級有嚴格的要求，風淋室應滿足至少ISO 5級（0.1微米顆粒物濃度≤35,000個/立方英尺）的潔凈度標準。

風速和吹淋時間：風淋室的風速應達到15-25米/秒，吹淋時間一般為10-30秒，以確保有效清除人員表面的塵埃。

空氣過濾效率：風淋室應配備高效過濾器（HEPA），過濾效率需達到99.99%以上。

結構材料：風淋室的結構材料應選擇耐腐蝕、易清潔的材料，如不銹鋼。

尺寸和數量：風淋室的尺寸應根據人員流量和潔凈室的整體布局來確定，數量應滿足潔凈室入口的需求。

二、傳遞窗的要求

潔凈度等級：傳遞窗的潔凈度應與風淋室相同，至少達到ISO5級。

密封性能：傳遞窗應具有良好的密封性能，防止外界污染物的進入。

操作便捷性：傳遞窗的設計應便于操作，減少物品傳遞過程中的污染風險。

材料選擇：傳遞窗的材料應選擇耐腐蝕、耐高溫、易清潔的材料。

尺寸和數量：傳遞窗的尺寸和數量應根據潔凈室的需求來確定，確保物品的順利傳遞。

三、潔凈棚的要求

潔凈度等級：潔凈棚的潔凈度應與風淋室和傳遞窗相同，至少達到ISO5級。

結構設計：潔凈棚的結構應穩(wěn)固，能夠承受物品的重量，同時易于清潔和消毒。

材料選擇：潔凈棚的材料應選擇耐腐蝕、耐高溫、易清潔的材料。

尺寸和數量：潔凈棚的尺寸和數量應根據潔凈室的需求來確定，確保滿足不同物品的放置需求。

四、綜合要求

系統集成：風淋室、傳遞窗、潔凈棚應與無塵室的其他設備（如HVAC系統、潔凈工作臺等）進行系統集成，確保整體潔凈度。

定期維護：無塵室內的風淋室、傳遞窗、潔凈棚應定期進行清潔、消毒和維護，確保其長期穩(wěn)定運行。

人員培訓：對使用風淋室、傳遞窗、潔凈棚的員工進行專業(yè)培訓，確保其正確操作和維護。

通過滿足上述要求，風淋室、傳遞窗、潔凈棚能夠在半導體行業(yè)無塵室中發(fā)揮重要作用，為芯片制造提供穩(wěn)定、潔凈的生產環(huán)境。